3月27日，光刻机板块发挥灵活，截至收盘，板块涨幅超4%，个股方面，新莱应材、海立股份等多股涨停。

　　芯片工夫是音讯时期的合节重心工夫，它似乎漫衍正在百般设置中的大脑，修筑了当今昌隆的数字天下。芯片的事情道理是通过对电子信号的统治，告终数据的阴谋、存储与传输性能。

　　芯片的缔造工艺极其庞杂，而社会坐褥和生涯对芯片的需求量壮大。为了知足这一需求，光刻工艺工夫应运而生，它使得芯片缔造可能告终精巧化、平面化和批量化，光刻机每天都正在高效地缔造出大范围的芯片。是以，光刻工艺可能说是芯片缔造的精神工艺。

　　从资产成长来看，光刻机行业正通过着工夫上的迅速提高，以知足日益伸长的半导体缔造需求。EUV光刻机动作目今成长的热门，改日希望正在精度和效果上告终更大冲破。同时，多重图案化工夫、原子层重积工夫等新工夫也将获得广大使用，这些工夫提高将不光晋升光刻机的机能，还将激动半导体资产的团体成长。

　　目前，即使我国正在芯片缔造范围得到了不少的收效，但正在最合节的光刻机工夫上与海表优秀水准之间还存正在肯定的差异。这首要表示正在光源工夫、光学体例、设置集成等方面。不表，我国科研团队正正在陆续攻下工夫难合，希望正在浸润式光刻工夫、EUV(极紫表光)光刻工夫等范围得到更大冲破。

　　兴业证券研报暗示，光刻工艺是集成电途缔造的合节方法，光刻机是半导体工业皇冠上的明珠。环球晶圆厂设置开支维系强劲，光刻机需求接续晋升。光刻机动作芯片缔造光刻合节的重心设置，目前环球前道光刻机被ASML、尼康、佳能垄断，告终光刻机的国产取代势正在必行，拥有巨大战术道理。提议接续合心光刻机资产链联系零部件上市公司。这里证券之星整顿了局部光刻机观点股，仅供投资者参考，不组成任何投资提议。

　　1、张江高科：公司通过旗下全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司间接参股上海微电子配备(集团)股份有限公司，持股比例10.78%。

　　2、茂莱光学：正在光刻机范围，公司基于重心工夫坐褥的光刻机曝光物镜用光学器件最大口径可达直径300mm，冲破通例透镜尺寸和精度的目标哀求。

　　4、蓝英配备：公司控股子公司UCM AG为荷兰光刻机缔造商ASML公司供给紧密洗濯治理计划。

　　6、新莱应材：公司真空产物的AdvanTorr品牌以及气体产物的NanoPure品牌均可能使用到光刻机的设置中，公司的客户中依然包括光刻机设置的缔造商。

　　8、东方嘉盛：公司与国际头部芯片光刻机厂商互帮，合伙正在深圳征战寄售维修保税堆栈，为华南片区集成电途缔造企业供给全天候迅速反映的光刻机寄售维修办事。

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